韩媒：三星电子着手开发满足EUV透过率92%的薄膜

据韩媒报导，三星电子已开始开发极紫外 (EUV) 薄膜，以缩小与晶圆代工竞争对手台积电的市场份额差距。

三星半导体研究所近日发出招聘启事，招揽相关人员开发满足EUV透过率92%的薄膜。该公司在 2021 年 10 月举行的三星代工论坛上表示：“我们已经开发出一种 EUV 透射率为 82% 的薄膜，并计划在今年年底将透射率提高到 88%。”这意味着三星在大约一年的时间内成功开发了透光率为 88% 的薄膜，并提出了将透光率提高 4 个百分点的新发展路线图。

三星电子还开始研究用于高数值孔径 (NA) 的薄膜，这被称为下一代 EUV 工艺。该公司在最新的招聘启事中提到了基于新材料的下一代薄膜的开发。它宣布将与外部研究机构合作开发和评估由碳纳米管和石墨烯制成的 EUV 薄膜。该公司还计划挑选研究人员负责为该公司自行开发的纳米石墨薄膜 (NGF) 设计量产设备。

三星电子的竞争对手台积电自2019年以来一直在其量产线中使用自己开发的EUV薄膜，并在2021年宣布将比2019年增加20倍的自有EUV薄膜产能。