编辑:AVA 发布:2023-07-12 10:51
据日媒报道,TEL在2023年6月的半导体国际会议报告中,展示一项新的蚀刻技术,可以在400层以上的3D NAND堆叠结构形成存储通道孔洞(memory channel holes)。
据TEL介绍,原本无法在极低温环境下实际运作的绝缘膜蚀刻,现在开发出新的制程,并制作出相应的设备,可在短短的33分钟内形成高长宽比的10微米的蚀刻深度,且比以前减少84%的全球暖化潜能值(Global warming potential)。
蚀刻设备是TEL的主力产品之一。据日本经产省资料,2021年TEL的蚀刻设备市占第二,涂布显影机市占位居第一,单晶圆制程清洗设备市占第三,热处理设备市占第二。
存储原厂 |
三星电子 | 53900 | KRW | +0.75% |
SK海力士 | 168400 | KRW | -0.71% |
铠侠 | 1565 | JPY | -0.95% |
美光科技 | 89.720 | USD | -0.44% |
西部数据 | 61.560 | USD | +2.19% |
南亚科 | 32.30 | TWD | +4.19% |
华邦电子 | 15.80 | TWD | +3.95% |
主控厂商 |
群联电子 | 491.5 | TWD | +2.50% |
慧荣科技 | 56.070 | USD | +4.03% |
联芸科技 | 43.65 | CNY | -0.18% |
点序 | 45.65 | TWD | +0.77% |
国科微 | 71.74 | CNY | -1.05% |
品牌/模组 |
江波龙 | 94.12 | CNY | +0.18% |
希捷科技 | 88.530 | USD | +1.40% |
宜鼎国际 | 216.5 | TWD | +0.93% |
创见资讯 | 90.7 | TWD | +0.44% |
威刚科技 | 80.0 | TWD | +1.27% |
世迈科技 | 19.430 | USD | +4.97% |
朗科科技 | 21.85 | CNY | -0.82% |
佰维存储 | 65.60 | CNY | -0.15% |
德明利 | 91.05 | CNY | +0.72% |
大为股份 | 12.59 | CNY | +0.40% |
封测厂商 |
华泰电子 | 36.40 | TWD | +5.20% |
力成 | 125.0 | TWD | +0.40% |
长电科技 | 38.89 | CNY | -0.36% |
日月光 | 164.0 | TWD | +2.18% |
通富微电 | 29.30 | CNY | -0.44% |
华天科技 | 11.87 | CNY | -0.50% |
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