编辑:Andy 发布:2024-06-25 16:29
据韩媒报道,三星晶圆厂设备制造子公司 Semes 已成功开发出氩氟化物浸没 (ArF-i) 光刻涂胶/显影设备。其首台设备名为 Omega Prime,已于去年供应,目前正在制造第二台。
到目前为止,韩国芯片制造商完全依赖外国晶圆厂设备制造商提供机器。三星每年为此花费数千亿韩元。东京电子占据了ArF-i光刻涂胶/显影设备全球 90% 以上的市场份额。
光刻涂胶/显影设备用于芯片生产的光刻工艺,其中光刻胶沉积在晶圆上,当暴露在光线下时,光刻胶就会被绘制成电路图案。
Semes 迄今已制造了氟化氪 (KrF) 光刻涂胶/显影设备,并开发了 ArF 版本以应对波长更短的新型光刻机。
Semes 表示,它在 Omega Prime 上应用了喷嘴、烘烤温度和机器人位置调整等自动化系统,以消除涂层和显影过程中的设定偏差。
存储原厂 |
三星电子 | 54400 | KRW | +1.68% |
SK海力士 | 168500 | KRW | -0.65% |
铠侠 | 1643 | JPY | +5.73% |
美光科技 | 89.280 | USD | -0.49% |
西部数据 | 61.700 | USD | +0.23% |
南亚科 | 31.20 | TWD | -2.19% |
华邦电子 | 15.60 | TWD | 0.00% |
主控厂商 |
群联电子 | 492.0 | TWD | +0.92% |
慧荣科技 | 56.485 | USD | +0.74% |
联芸科技 | 46.56 | CNY | -0.70% |
点序 | 46.30 | TWD | +0.65% |
国科微 | 70.62 | CNY | -2.36% |
品牌/模组 |
江波龙 | 94.25 | CNY | -2.33% |
希捷科技 | 88.490 | USD | -0.05% |
宜鼎国际 | 219.5 | TWD | +0.69% |
创见资讯 | 87.7 | TWD | -0.79% |
威刚科技 | 79.7 | TWD | +0.13% |
世迈科技 | 19.470 | USD | +0.21% |
朗科科技 | 22.99 | CNY | +2.09% |
佰维存储 | 68.80 | CNY | -1.32% |
德明利 | 89.36 | CNY | -1.48% |
大为股份 | 11.99 | CNY | -3.38% |
封测厂商 |
华泰电子 | 36.30 | TWD | +0.83% |
力成 | 126.5 | TWD | +1.20% |
长电科技 | 39.15 | CNY | -0.23% |
日月光 | 165.5 | TWD | +0.61% |
通富微电 | 29.62 | CNY | -0.84% |
华天科技 | 12.16 | CNY | +0.58% |
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